برای حفظ عملکرد پایدار دستگاه لیتوگرافی، لازم است یک سیستم خنک کننده در داخل دستگاه لیتوگرافی تنظیم شود.سیستم خنک کننده دستگاه لیتوگرافی شامل خنک کننده آب است، خنک کننده هوا، خنک کننده، هیدروژن و هلیوم و راه های دیگر، که خنک کننده آب جریان اصلی است.سیستم خنک کننده آب در داخل دستگاه لیتوگرافی آب را از طریق رادیاتور داخلی از طریق لوله آب عبور می دهد، گرما را وقتی که از طریق قسمت های داخلی با دمای بالا جریان می یابد، از بین می برد و گرما را از طریق رادیاتور خارجی از بین می برد.بنابراین حفظ محیط دمای پایین در داخل ماشین لیتوگرافی و اطمینان از عملکرد پایدار ماشین لیتوگرافی.